Модель осадки шихты при производстве карбида кремния

Аннотация

Процесс осадки шихты сопровождает технологию производства карбида кремния в печи сопротивления и является его неотъемлемой частью, влияющей на важнейшие характеристики, в частности, на формирование температурных полей. Осадка обусловлена потерей массы, связанной с процессами химических превращений, газо- и влагоудаления продуктов химических реакций и водяного пара из загруженного исходного материала. Представлена модель, описывающая осадку шихты, и сформулированы основные принципы построения и применения этой модели. Получены соотношения, описывающие влияние осадки на пористость реакционного материала и объемное тепловыделение. Показано, как учитывать изменение теплофизических и структурных характеристик реакционной зоны и геометрического положения керна в ходе производственного цикла при расчете температурных полей в печи сопротивления.