Открытый доступ Открытый доступ  Ограниченный доступ Платный доступ

Модель осадки шихты при производстве карбида кремния

А. Б. Гаряев, С. С. Закожурников, В. С. Кузеванов

Аннотация


Процесс осадки шихты сопровождает технологию производства карбида кремния в печи сопротивления и является его неотъемлемой частью, влияющей на важнейшие характеристики, в частности, на формирование температурных полей. Осадка обусловлена потерей массы, связанной с процессами химических превращений, газо- и влагоудаления продуктов химических реакций и водяного пара из загруженного исходного материала. Представлена модель, описывающая осадку шихты, и сформулированы основные принципы построения и применения этой модели. Получены соотношения, описывающие влияние осадки на пористость реакционного материала и объемное тепловыделение. Показано, как учитывать изменение теплофизических и структурных характеристик реакционной зоны и геометрического положения керна в ходе производственного цикла при расчете температурных полей в печи сопротивления.

Ключевые слова


печь сопротивления; производство карбида кремния; осадка; пористый материал; физическая модель; математическая модель; температурные поля; тепломассоперенос; объемные тепловыделения; влагоудаление; resistance furnace; silicon carbide production; slipping; porous material; physical model; mathematical model; temperature field; heat and mass transfer; volumetric heat generation; dehumidification

Полный текст:

PDF

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.


                                                  

© 1998 — 2024 НТФ "Энергопрогресс"


Адрес редакции: 129090, г. Москва, ул. Щепкина, д. 8
Телефон редакции   234-7449.

E-mail: prom_energy@rambler.ru; prom_energy1@mail.ru